耐潮性試驗是把器件置於高溫、高濕的環境中受試，使潮氣侵人封裝體，以產生如分層和開裂那樣的缺陷。這種試驗可識別器件對潮氣引起的應力的敏感度，以便使器件能適當地封裝、貯存和搬運，以避免機械損傷。高壓鍋、85C/85%RH和HAST試驗就是耐潮濕試驗。高加速應力與溫度(HAST)試驗正在快速地取代85/85試驗。DHAST試驗按JESD22-A110問進行，條件通常為130C，85%RH,250h。