微光機電係統(MicroElectroMechanicalSystems-——MEMS)，以下簡稱MEMS。MEMS是融合了矽微加工、LIGA(光刻、電鑄和塑鑄)和精密機械加工等多種微加工技術，並應用現代信息技術構成的微型係統。它在微電子技術的基礎上發展起來的，但又區別於微電子技術。它包括感知外界信息(力、熱、光、磁、電、聲等)的傳感器和控製對象的執行器，以及進行信號處理和控製的電路。MEMS器件和傳統的機器相比，具有體積小、重量輕、耗能低、溫升小、工作速度快、成本低、功能強、性能好等特點。